多功能測(cè)量能力：它是用于 CNC 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的多功能測(cè)頭，可執(zhí)行連續(xù)路徑接觸式掃描測(cè)量，當(dāng)安裝在 LEGEX 系列測(cè)量機(jī)上時(shí)精度 V2≤0.3μm。同時(shí)其可進(jìn)行高精度點(diǎn)測(cè)量，LEGEX 搭載場(chǎng)景下精度達(dá) σ≤0.1μm，也支持中心點(diǎn)測(cè)量以采集數(shù)據(jù)，可有效測(cè)量齒輪、圓筒凸輪、葉輪等回轉(zhuǎn)類工件。

高精度分辨力：測(cè)頭內(nèi)置 X、Y、Z 各軸方向最小分辨力為 0.01μm 的高精度光柵尺，可在任何方向精準(zhǔn)讀取測(cè)針位移。

低測(cè)量力優(yōu)勢(shì)：其測(cè)量力可最小降至 0.03N，相比同類掃描測(cè)頭測(cè)力更小，能測(cè)量樹(shù)脂等彈性工件而不損傷工件結(jié)構(gòu)。

快速掃描效率：采用已知幾何形狀掃描模式時(shí)，快速掃描速度可達(dá) 120mm/s。即使對(duì)內(nèi)徑 100mm 工件采點(diǎn) 1000 個(gè)，也可在幾秒內(nèi)完成測(cè)量，適合需采集大量數(shù)據(jù)的高精度測(cè)量任務(wù)。

測(cè)針規(guī)格：橫向和豎向的最大測(cè)針長(zhǎng)度均支持到 200mm。