沈陽芯源微電子設備股份有限公司

成立于2002年，專業(yè)從事半導體生產(chǎn)設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。芯源公司座落在沈陽市渾南區(qū)，公司占地2萬平米，設置了專業(yè)的集成電路工藝開發(fā)和檢測實驗室以及半導體設備生產(chǎn)組裝車間。芯源公司通過多年技術積累、創(chuàng)新提高，形成自主知識產(chǎn)權體系，已申請300余項專利，其中發(fā)明專利272項；已擁有授權專利145項，其中發(fā)明專利127項。沈陽芯源公司作為國內高端半導體裝備制造企業(yè)，所開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產(chǎn)品，已形成完整的技術體系和豐富的產(chǎn)品系列，可根據(jù)用戶的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產(chǎn)、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。